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真空熱處理即真空技術與熱處理兩個專業相結合的綜合技術,是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態下進行的。我國將真空劃分為低、中、高和超高真空。目前大多數真空熱處理爐的工作真空度在1.33~1.33×10ˉ³Pa。真空熱處理幾乎可實現全部熱處理工藝,如淬火、退火、回火、滲碳、氮化,在淬火工藝中可實現氣淬、油淬、硝鹽淬火、水淬等,還可以進行真空釬焊、燒結、表面處理等。真空熱處理爐熱效率高,可實現快速升溫和降溫,可實現無氧化、無脫碳、無滲碳,可去掉工件表面的磷屑,并有脫脂除氣等作用,從而達到表面光亮凈化的效果。一般來說,被處理的工件在爐內加熱緩慢,內熱溫差較小,熱應力小,因而變形小。產品合格率高。可降低成本,有除氣作用,從而提高了工作的機械性能和使用壽命。工作環境好,操作安全,沒有污染和公害。被處理的工件沒有氫脆危險,對鈦材和難熔金屬殼防止表面氫脆,真空熱處理工藝的穩定性和重復性好。這一系列的優點,開發真空熱處理設備和工藝被越來越重視和應用越來越廣。
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